苏州晶淼半导体设备有限公司

湿法腐蚀清洗设备,rca清洗机

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湿法酸碱腐蚀清洗设备

发布者:刘章印 | 来源:苏州晶淼半导体设备有限公司发布时间:2021-04-25
产品单价
面议
起订量
1台
供货总量
100 台
发货期限
自买家付款之日起90天内发货
品牌
苏州晶淼
   

增加清洗强度的方法有如下四种:

一、加热。假设室温20℃的情况下,用加热器将清洗溶液的温度加热到80℃,这样酸碱在高温下能加快反应,得到更好的清洗效果。加热的方法有两种,一种是直接用电阻丝加热清洗溶液,这种方法的缺点在于加热溶液过程中,热量的传输不是很均匀,容易形成温度梯度,同时直接加热也容易产生多余的污染物。另一种方法是采用间接加热,利用泵把加热后的溶液重新送回清洗槽,这种清洗方法能够解决清洗槽内温度不均的问题,同时,也没有直接加热过程中产生污染物的问题,也是我们经常采用的一种方法。

二、超声波。使用超声波产生气泡,同样能够达到吸取硅片表面杂质的目的。这种情况是在温度要求不能太高的情况下使用的。如果高温与超声波同时作用,清洗效果佳。

三、抛动。为了让杂质不会粘贴在硅片表面上,采用一种晃动的方式,让装有硅片的篮子在清洗溶液中充分接触溶液,增加摩擦,有效去污。

四、臭氧。利用臭氧的强氧化作用,产生泡沫。从而达到吸取硅片表面的污物的目的。

这四种方法总的来说,都是增加反应产生的泡沫。从而达到吸去硅片表面杂质的目的。此四种方法可以组合使用, 这样清洗的效果会更好。当然要在平衡功能与价格后确定。

  苏州晶淼半导体设备有限公司  刘章印 18625104575


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主营产品 湿法腐蚀清洗设备,rca清洗机 网址 http://liuzhangyin158.b2b.huangye88.com/
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